等離子電源維修：太陽(yáng)能光伏、PVD鍍膜，半導(dǎo)體薄膜、離子注入、刻蝕，平板顯示，光盤(pán)、光電子LED等制造設(shè)備以及科研院校、技術(shù)研究所等行業(yè)。
等離子電源常見(jiàn)問(wèn)題及解決方法：
1．工作氣壓過(guò)低
等離子切割機(jī)工作時(shí)，如工作氣壓遠(yuǎn)低于說(shuō)明書(shū)所要求的氣壓，這意味著等離子弧的噴出速度減弱，輸入氣流小于所要求的值，此時(shí)不能形成高能量、高速度的等離子弧，從而造成切口質(zhì)量差、切不透、切口積瘤的現(xiàn)象。氣壓不足的原因有：空壓機(jī)輸入空氣不足。切割機(jī)空氣調(diào)節(jié)閥調(diào)壓過(guò)低，電磁閥內(nèi)有油污，氣路不通暢等。因此需要從這些方面逐個(gè)檢查，發(fā)現(xiàn)問(wèn)題及時(shí)改善。
2．工作氣壓過(guò)高
若輸入空氣壓力過(guò)高，則在形成等離子弧后，過(guò)大的氣流會(huì)吹散集中的弧柱，使弧柱能量分散，減弱了等離子弧的切割強(qiáng)度。產(chǎn)生原因主要是：輸入空氣調(diào)節(jié)不當(dāng)、空氣過(guò)濾減壓閥調(diào)節(jié)過(guò)高或者是空氣過(guò)濾減壓閥失效。
3．電極噴嘴等易損件安裝不當(dāng)
電極噴嘴有螺紋的，需要擰緊到位。因噴嘴安裝不當(dāng)，如絲扣未上緊，渦流環(huán)安裝不規(guī)范，都會(huì)造成切割不穩(wěn)定，易損件過(guò)快損壞。
4．輸入交流電壓過(guò)低
調(diào)試使用前，檢查等離子切割機(jī)所接入電網(wǎng)是否有足夠的承載能力，電源線規(guī)格是否符合要求。等離子切割機(jī)安裝地點(diǎn)，應(yīng)遠(yuǎn)離大型用電設(shè)備和經(jīng)常有電氣干擾的地方。
5．地線與工件接觸不良
接地是切割前一項(xiàng)必不可少的準(zhǔn)備工作。未使用專用的接地工具，工件表面有絕緣物及長(zhǎng)期使用老化嚴(yán)重的地線等，都會(huì)使地線與工件接觸不良。
6．切割速度和割槍夾持的垂直度
切割速度的快與慢，應(yīng)當(dāng)根據(jù)切割不同的材質(zhì)和厚度，電流大小相符合。過(guò)快或者過(guò)慢，都會(huì)造成切割面不平，上下沿掛渣。另外，割槍夾持不垂直，噴出的等離子弧也是斜著噴出，也會(huì)造成切割面有斜度。
刻蝕（ET）： LAM 9400、9600
AMAT CENTURA II&I
AMAT SEMVision G2
離子注入（DF）：VARIAN
EATON(AXCELIS)
NISSIN
AMAT PI9500 9200
光刻（PH）：NIKON NSR
ASML 5500
太陽(yáng)能光伏PECVD： centrotherm(管式鍍膜）Roth&Rau(平板式鍍膜 德國(guó)）
服務(wù)品牌
AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、SEREN、DAIHEN、VEECO射頻電源，HiTek power，Glassman、Spellman高壓電源，Lambda、delta、sorensen、Powerone直流電源。ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU
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